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江苏奥力威申请一体式表面差动金属膜结构石英谐振式压力传感器专利具有准数字信号输出添加时间:2024-10-03 10:19:44
开云真人开云真人金融界2024年9月26日消息,国家知识产权局信息显示,江苏奥力威传感高科股份有限公司申请一项名为“一体式表面差动金属膜结构石英谐振式压力传感器”的专利,公开号 CN 118687746 A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本发明公开了数字式压力传感器领域内的一种一体式表面差动金属膜结构石英谐振式压力传感器,包括带有支撑壳体的一体式表面差动金属敏感膜结构元件,支撑壳体上部中央设置有表面差动金属压力膜片,表面差动金属压力膜片上通过四个凸台连接有两个石英双端固支音叉,支撑壳体的内层中心设置的待测压力通道接通表面差动金属压力膜片下方;支撑壳体上方连接有上盖帽形成上腔室,石英双端固支音叉位于上腔室内;两个石英双端固支音叉感受表面差动金属压力膜片的压力变化,因其位置不同,而形成差动输出,经比较后获得压力信号。通过测量两个石英双端固支音叉频率变化,可以获得待测压力信息,具有准数字信号输出,高精度,高稳定性等特点。